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   水中有不少細菌，如果不及時處理會出現許多問題。在整個水處理過程中，都存在微生物生長和繁殖的可能性，盡管高純水中的有機物極少，但某些細菌仍可以生長并繁殖，從而降低了水的純度。為了防止微生物對純水的再次污染，人們用化學藥劑、氧化、紫外線殺菌技術作為高純水的后處理。近年來，為適應微電子工業的飛速發展，高純水制備技術在試驗研究和生產實踐方面都有了某些新的進展，如紫外線和臭氧殺菌技術、微絮凝過濾工藝還有殺菌劑等。
   在20世紀初人們發現了紫外線的殺菌劑，自從1936年制造出第一臺低壓汞燈，紫外線殺菌向工業化邁進了一大步，紫外線具有殺菌速度快、效率高的特點，而且經紫外線照射的水不會改變其物理性質和化學性質，所以紫外線適用于對各種流量的水進行處理。
   在純水處理系統中，尤其在夏季高溫條件下，細菌類微生物繁殖得快。這些細菌對純水的后處理系統的超濾或膜濾裝置的危害很大。殺菌劑不但能殺死細菌，而且能抑制細菌的繁殖，因此是制取超純水中不可或缺的一部分。

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